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- 2024-07-03
- 來源:中科檢測
無塵室,也稱為潔凈室,是一種特殊的環境,其中空氣中的塵埃、微生物等污染物被控制在一個極低的水平,以確保產品或工藝的精確性和可靠性。在許多高科技產業,如半導體、醫療設備制造、制藥等,無塵室是必不可少的生產環境。
定期進行無塵室檢測和設備檢查,以確保其符合潔凈度等級要求。檢測項目包括塵埃數、微生物數、空氣流速、壓差等指標。同時,應根據檢測結果及時采取相應的措施進行整改和維護,以保證無塵室的穩定運行和持續達標。
無塵室檢測次數要求
(1)空氣潔凈度檢測頻率:
空氣潔凈度檢測應至少每季度進行一次,以確保無塵車間的空氣質量符合要求。
(2)照度檢測頻率:
照度檢測應至少每季度進行一次,以確保無塵車間的照度水平符合要求。如發現異常情況,應及時采取措施進行調整。
(3)壓差檢測頻率:
壓差檢測應至少每周進行一次,以確保無塵車間的壓差符合要求。如發現異常情況,應及時采取措施進行調整。
(4)溫度和濕度檢測頻率:
溫度和濕度檢測應至少每天進行一次,以確保無塵車間的環境質量符合要求。
(5)噪聲檢測頻率:
噪聲檢測應至少每季度進行一次,以確保無塵車間的噪聲水平符合要求。如發現異常情況,應及時采取措施進行治理。
無塵室管理規范要求
無塵室的要求與等級標準主要包括以下幾個方面:
(1)空氣潔凈度等級:
無塵室的潔凈度等級主要根據空氣中懸浮粒子濃度來劃分,一般分為一級到十級。一級無塵室主要適用于制作集成電路的微電子工業,十級無塵室主要用于帶寬小于二微米的半導體工業,百級無塵室一般用于醫藥工業的無菌制作工藝等,千級無塵室主要用于高質量光學產品的生產,萬級和十萬級無塵室則多用于工業部門,如液壓或氣壓體系的制作、食品飲料的出產等。
(2)照明與通風:
無塵室內應有足夠數量的局部照明裝置及良好的通風換氣設備,同時,其風速和氣流組織形式也有一定要求。
(3)溫濕度要求:
無塵室的溫度一般控制在20±2°C,相對濕度保持在50±5%范圍內。
(4)其他要求:
如壓差控制,相同潔凈度等級的凈化車間壓差應保持一致,對于不同潔凈等級的相鄰凈化車間之間壓差要≥5Pa,凈化車間與非凈化車間之間要≥10Pa。
(5)人員進出要求:
人員進入潔凈區必須穿防塵工作服或防靜電工作服,帶好帽子口罩等個人防護用品,嚴禁非工作人員入內。
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