粒子束聚焦分析檢測

粒子束聚焦分析檢測

聚焦離子束是一種利用電透鏡將離子束聚焦成非常小尺寸的顯微切割儀器。中科檢測可以提供粒子束聚焦分析檢測服務，報告具有CMA和CNAS資質。
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粒子束聚焦分析 檢測介紹

聚焦離子束是一種利用電透鏡將離子束聚焦成非常小尺寸的顯微切割儀器。聚焦離子束是將離子源（大多數FIB都用Ga，也有設備具有He和Ne離子源）產生的離子束經過離子槍加速，聚焦后作用于樣品表面。
中科檢測可以提供粒子束聚焦分析檢測服務，報告具有CMA和CNAS資質。

檢測范圍 粒子束聚焦分析

微電子材料、亞微米級器件等

檢測標準 粒子束聚焦分析

GB/T 34326-2017 表面化學分析 深度剖析 AES和XPS深度剖析時離子束對準方法及其束流或束流密度測量方法
ISO 16531-2013 表面化學分析.深度剖析.原子發射光譜(AES)和光電子能譜(XPS)中深度剖析用電流或電流密度的離子束校正和相關測量方法
ASTM E1577-2011 用于表面分析的離子束參數報告的標準指南
ASTM E684-2004 固體表面濺射深度仿形加工用大直徑離子束的電流密度近似測定的標準規程
ASTM E1577-2004 用于表面分析的離子束參數報告的標準指南