光刻膠 檢測介紹
光刻膠也稱為光致抗蝕劑,是一種特殊的感光材料,能夠在光的照射下發生化學變化,進而影響其溶解度。光刻膠主要由感光樹脂、增感劑和溶劑組成,是微電子技術中精細圖形處理的關鍵材料,廣泛應用于半導體、液晶顯示、印刷電路板等領域的細微圖形加工作業。在光刻工藝中,光刻膠作為抗腐蝕涂層材料,通過涂覆、曝光和顯影等步驟,將掩膜板上的圖形精確地轉移到基片上。光刻膠分為正性和負性兩種類型,正性光刻膠在曝光后被溶解,而未曝光部分保留;負性光刻膠則相反,曝光部分被保留,未曝光部分被溶解。中科檢測是專業的光刻膠檢測機構,可開展光刻膠檢測服務。
光刻膠 檢測范圍
光刻膠可以分為光聚合型、光分解型、光交聯型和化學放大型。
1、光聚合型光刻膠采用烯類單體,在光作用下生成自由基,引發單體聚合反應生成聚合物。
2、光分解型光刻膠,采用含有重氮醌類化合物(DQN)材料作為感光劑,其經過光照后,發生光分解反應。
3、光交聯型光刻膠采用聚乙烯醇月桂酸酯等作為光敏材料,在光的作用下,形成不溶性的網狀結構,起到抗蝕作用。
4、化學放大型光刻膠采用難以溶解的聚乙烯樹脂,使用光致酸劑(PAG)作為光引發劑。
光刻膠 檢測項目
理化性能:固含量、粘度、留膜率、薄膜厚度、粘附力等
可靠性能:耐化學性能、耐溶劑沖擊性、溶解性、耐化學性、耐腐蝕性能等
光學性能:色度、輝度、對比度測試、顯影速度、曝光度等
光刻膠 檢測標準
GB/T 43793.1-2024 平板顯示用彩色光刻膠測試方法 第1部分:理化性能
GB/T 43793.2-2024 平板顯示用彩色光刻膠測試方法 第2部分:光學性能
GB/T 43793.3-2024 平板顯示用彩色光刻膠測試方法 第3部分:可靠性
GB/T 31370.1-2015 平板顯示器(FPD)彩色濾光片測試方法 第1部分:顏色和透光率
GB/T 31370.4-2015 平板顯示器(FPD)彩色濾光片測試方法 第4部分:耐化學性
IPC MI-660 5.3-1984 干電影光刻膠
GOST R 52250-2004 電子工程材料.光刻工藝抗蝕劑.通用規范
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