檢測介紹 檢測介紹
拋光片是一種用于拋光和打磨的工具,通常由金屬、玻璃、塑料、橡膠、鉆石等不同材料制成。拋光片常用于金屬、非金屬材料表面的精細磨光和高光亮度處理。在制造過程中,拋光片通常由多層不同顏色的材料疊加壓制而成,其材質包括天然石材、合成石材、塑料等。拋光片也指由石英砂經過提純、拉晶、切片、拋光等工藝處理后形成的半導體硅片,可直接用于制作半導體器件,廣泛應用于存儲芯片與功率器件等,也可作為外延片、SOI硅片的襯底材料。中科檢測是專業的拋光片檢測機構,可開展各種拋光片檢測服務。
檢測項目 檢測項目
理化性能:摻雜劑、少數載流子壽命、氧含量、碳含量、晶體完整性、直徑、表面取向及其偏離度、參考面長度(主參考面直徑)、切口尺寸、參考面位置、切口位置
電學性能:導電類型、電阻率、徑向電阻率
幾何參數:彎曲度、翹曲度、總厚度變化、總平整度、局部平整度
其他項目:氧化誘生缺陷、表面金屬、體金屬(鐵)、邊緣輪廓、表面質量、表面粗糙度、密度
檢測標準 檢測標準
GB/T 30656-2023 碳化硅單晶拋光片
GB/T 19921-2018 硅拋光片表面顆粒測試方法
GB/T 12964-2018 硅單晶拋光片
SJ/T 11504-2015 碳化硅單晶拋光片表面質量的測試方法
SJ/T 11503-2015 碳化硅單晶拋光片表面粗糙度的測試方法
SJ/T 11490-2015 低位錯密度砷化鎵拋光片蝕坑密度的測量方法
GB/T 30858-2014 藍寶石單晶襯底拋光片
GB/T 4058-2009 硅拋光片氧化誘生缺陷的檢驗方法
GB/T 6624-2009 硅拋光片表面質量目測檢驗方法
GB/T 31351-2014 碳化硅單晶拋光片微管密度無損檢測方法
服務優勢 服務優勢
實力保障:國科控股旗下獨立第三方檢測機構
周期更短:5-10個工作日可出具檢測報告
優質服務:工程師1對1服務,全程項目跟進
技術先進:科研院所技術沉淀,先進儀器設備
嚴謹公正:公正、科學、準確、高效
多家分部:接受全國上門取樣/寄樣服務
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